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真空泵不能啟動：主要表現為真空泵加電后不能啟動運轉。這時應首先檢查真空泵的電路部分，如保險管是否燒毀、電路部分有沒有元氣件燒壞。在排除電路部分的故障后，應考慮以下兩個因素：

(1)電機燒壞。主要為電機定子線圈燒毀，引起原因較多，如瞬間電流過大，電機軸承使用久了被磨損，致使軸承摩擦阻力變大，電機功率加大，引起溫度上升，燒毀電機。這時應先檢查電機軸承，再檢查電機線圈。軸承損壞就更換軸承；機線圈燒毀則應維修電機，重新繞制定子線圈。軸承和線圈損壞嚴重時，就需更換電機了。

(2)旋片卡阻。主要表現為旋片與泵腔內表面的摩擦阻力過大，致使電機無法帶動旋片。原因是旋片變形，轉子內的彈簧張開后不能復位，或彈簧壓力和旋片自身離心力的合力過大，導致旋片與泵腔內表面的摩擦阻力過大。這時就應及時修復旋片和彈簧，若不能修復則應更換。

工作過程中出口無壓力或壓力低泵工作時，出口無壓力或壓力低的原因很多。但都不會在較短的運行時間內出現故障。根據以前檢修時發現，出口排氣閥損壞嚴重，推斷是這個原因造成的。排氣閥的閥片是一塊1—1.5厚的鐵板，很容易被腐蝕。

真空泵漏油：這是旋片式機械真空泵最常見的故障之一，主要發生在真空泵的油窗、油箱密封墊、電機軸承軸封三個位置上，其主要原因是真空泵使用時間過長而引起這些部位老化，密封失效，從而導致漏油。