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無油真空泵機組結構合理、選用的材料適當、動平衡性能良好、振動小、噪音低、密封性能好及易損件壽命長等。其真空泵腔內無油潤滑，不產生廢水、廢氣，可獲潔凈真空，對于化工設備進行的化學反應中的反應介質不會因為真空泵的排出而改變它的性質，所以有利于尾氣潔凈回收。

無油真空泵機組的重要組成部件：

1.機械傳動部件：由電機通過三角帶傳動，驅動曲柄滑塊結構作往復運動，滑塊（十字頭）將往復運動通過活塞桿傳遞給活塞。

2.吸、排氣部件：活塞（安裝有封氣的F4活塞環），在氣缸內往復運動形成缸內氣體的膨脹和壓縮，并通過軸向布置的進排氣閥完成吸、排氣動作。

3.輔助功能部件：曲軸箱內的潤滑油通過濺油或油泵泵油潤滑有關運動件，上部冷卻水（0.2bar）帶走氣體壓縮產生的熱量，氣缸內活塞環采用F4自潤滑材料，無需另加油潤滑。

4.填料密封部件：分為普通型和特殊性

5.普通型：選用聚四氟乙烯或橡膠類骨架油封

6.特殊性：專門針對易燃易爆氣體（如co，干氣、甲烷氣等各種對環境要求較高的氣體）。使用時通入具有一定壓力，一定流量（參照工藝工況選擇）的氮氣，經過兩次節流后，與泄漏到混合腔的工質混合，引到系統外，從而避免了工質氣體泄漏到環境中引發危險，避免了空氣進入氣缸污染原料。

7.隔腔：為防止填料部件實效引起物料泄漏，污染曲軸箱內潤滑油，加裝隔腔部件，從而徹底隔絕過流部分和運動部件的接觸途徑，保證真空系統的無油。特別適用于物料具有一般腐蝕性，對機油有較強敏感度或要求較高清潔度的尾氣回收等環境。